BUSINESS BUSINESS 사업소개 사업부문 설비현황 평택(가공) 안성(세정,코팅) 생산공정 인증/기술력 고객사 사업소개 회사소개 사업소개 제품소개 고객지원 인증/기술력 사업부문 설비현황 생산공정 인증/기술력 고객사 홈 사업소개 인증/기술력 인증/기술력(Certification) / 확인서(Confirmation) × Paten(특허증 및 내재화 현황) 구분 명칭 등록(출원)번호 등록 정밀가공 화학기상증착을 위한 공정 챔버용 서셉터의 리프트핀 가이드 롤러 부싱 10-2017-0117680 심사 로드용 가이드 롤러 10-2017-0043080 심사 반도체 증착 ALD 장비용 일체형 Sic DRIVING SPINDLE SHAFT 제 10-2145879호(10-2019-0142880) 등록 코팅 질화물 반도체 결정성장장치 및 방법 제 10-2007418호(10-2018-0087436) 등록 질화물 반도체 프리스탠딩 기판과 그 제조 장치 및 방법 제 10-2086725호(10-2018-0089609) 등록 질화물 코팅막 형성 장치 및 방법 제 10-2179974호(10-2018-0090593) 등록 수.산소 가스 화명 코팅 장비 및 내플라즈마 코팅 소재 제 10-2224583호(10-2018-0089609) 등록 용사 재료 제조 방법 10-2019-0176101 심사 복합 자성 시트 및 그 제조 방법 10-2019-0018794 심사 전자계측 비례 공압 제어시스템(EPC)용 Manifold Block 소재 열처리 제 10-2177001호(10-2019-001999) 등록 공압 제어용 Manifold 및 이를 이용한 공압 회로 제 10-2224583호(10-2019-0046342) 등록 화학적 기계적 연마 공정(CMP)공정용 비례공압제어시스템 및 비례공압제어 방법 제 10-2068704호(10-2019-0082464) 등록 ※ 등록 : 8건 ㅣ 심사 : 4건 ㅣ 총 : 12건 ㅣ
사업소개 회사소개 사업소개 제품소개 고객지원 인증/기술력 사업부문 설비현황 생산공정 인증/기술력 고객사 홈 사업소개 인증/기술력 인증/기술력(Certification) / 확인서(Confirmation) × Paten(특허증 및 내재화 현황) 구분 명칭 등록(출원)번호 등록 정밀가공 화학기상증착을 위한 공정 챔버용 서셉터의 리프트핀 가이드 롤러 부싱 10-2017-0117680 심사 로드용 가이드 롤러 10-2017-0043080 심사 반도체 증착 ALD 장비용 일체형 Sic DRIVING SPINDLE SHAFT 제 10-2145879호(10-2019-0142880) 등록 코팅 질화물 반도체 결정성장장치 및 방법 제 10-2007418호(10-2018-0087436) 등록 질화물 반도체 프리스탠딩 기판과 그 제조 장치 및 방법 제 10-2086725호(10-2018-0089609) 등록 질화물 코팅막 형성 장치 및 방법 제 10-2179974호(10-2018-0090593) 등록 수.산소 가스 화명 코팅 장비 및 내플라즈마 코팅 소재 제 10-2224583호(10-2018-0089609) 등록 용사 재료 제조 방법 10-2019-0176101 심사 복합 자성 시트 및 그 제조 방법 10-2019-0018794 심사 전자계측 비례 공압 제어시스템(EPC)용 Manifold Block 소재 열처리 제 10-2177001호(10-2019-001999) 등록 공압 제어용 Manifold 및 이를 이용한 공압 회로 제 10-2224583호(10-2019-0046342) 등록 화학적 기계적 연마 공정(CMP)공정용 비례공압제어시스템 및 비례공압제어 방법 제 10-2068704호(10-2019-0082464) 등록 ※ 등록 : 8건 ㅣ 심사 : 4건 ㅣ 총 : 12건 ㅣ
인증/기술력(Certification) / 확인서(Confirmation) × Paten(특허증 및 내재화 현황) 구분 명칭 등록(출원)번호 등록 정밀가공 화학기상증착을 위한 공정 챔버용 서셉터의 리프트핀 가이드 롤러 부싱 10-2017-0117680 심사 로드용 가이드 롤러 10-2017-0043080 심사 반도체 증착 ALD 장비용 일체형 Sic DRIVING SPINDLE SHAFT 제 10-2145879호(10-2019-0142880) 등록 코팅 질화물 반도체 결정성장장치 및 방법 제 10-2007418호(10-2018-0087436) 등록 질화물 반도체 프리스탠딩 기판과 그 제조 장치 및 방법 제 10-2086725호(10-2018-0089609) 등록 질화물 코팅막 형성 장치 및 방법 제 10-2179974호(10-2018-0090593) 등록 수.산소 가스 화명 코팅 장비 및 내플라즈마 코팅 소재 제 10-2224583호(10-2018-0089609) 등록 용사 재료 제조 방법 10-2019-0176101 심사 복합 자성 시트 및 그 제조 방법 10-2019-0018794 심사 전자계측 비례 공압 제어시스템(EPC)용 Manifold Block 소재 열처리 제 10-2177001호(10-2019-001999) 등록 공압 제어용 Manifold 및 이를 이용한 공압 회로 제 10-2224583호(10-2019-0046342) 등록 화학적 기계적 연마 공정(CMP)공정용 비례공압제어시스템 및 비례공압제어 방법 제 10-2068704호(10-2019-0082464) 등록 ※ 등록 : 8건 ㅣ 심사 : 4건 ㅣ 총 : 12건 ㅣ